久久97精品久久久久久久不卡,92午夜少妇极品福利无码电影 ,免费看美女视频的软件,人妻AⅤ无码一区二区三区

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁 >技術(shù)文章 >外延層的雜質(zhì)分布

外延層的雜質(zhì)分布

更新時間:2020-05-13   點擊次數(shù):2206次

外延層必須是經(jīng)過摻雜的單晶層。從器件制造的角度考慮,總希望外延層具有均勻的一定量的單一雜質(zhì)分布,而且要求外延層與襯底界面處雜質(zhì)分布濃度陡峭一些。

SiCl4氫還原法外延由于在高達1200℃高溫下進行,襯底與外延層中雜質(zhì)相互擴散,從而使襯底與外延層形成雜質(zhì)濃度緩變分布,這就是外延中的擴散效應(yīng)。這種效應(yīng)是可逆的,生成的HCl對硅有腐蝕作用。在襯底腐蝕的同時其中雜質(zhì)就釋放出來,加之在高溫外延過程中,高摻雜襯底中的雜質(zhì)也會揮發(fā),此外整個外延層系統(tǒng)中也存在雜質(zhì)的沾污源,這三種因素造成的自摻雜效應(yīng)嚴重影響了外延的雜質(zhì)分布,外延電阻率做高也不容易。

SiH4熱分解法反應(yīng)溫度低,其化學(xué)反應(yīng)激活能是1.6eV,比SiCl4小0.3eV,可以在1100℃時獲得與1200℃下SiCl4反應(yīng)時相當(dāng)?shù)纳L速率,同時這種方法不產(chǎn)生HCl,無反應(yīng)腐蝕問題,因而擴散效應(yīng)和自摻雜現(xiàn)象不如SiCl4嚴重。如果采用“背封”技術(shù)和“二步法”外延,用SiH4熱分解法就能獲得較為理想的突變結(jié)和濃度分布。

99久久人人爽亚洲精品美女| 亚欧美无遮挡HD高清在线视频| 免费人妻精品一区二区三区| 精品人人妻人人澡人人爽人人| 中文字幕久久久久人妻中出| 亚洲熟妇无码一区二区三区导航| 狼群社区在线观看免费完整版| a片免费视频在线观看| 好先生在线观看免费完整版| 亚洲熟妇无码一区二区三区| 无码乱码av天堂一区二区| 久久久久久久精品国产怎么下| 亚洲精品久久无码| 久久精品国产99国产精品| 国产97色在线 | 免| 国产精品内射后入合集| 色狠狠一区二区三区香蕉 | 国产大屁股喷水视频在线观看| 久久亚洲精品中文字幕无码 | 国产后入清纯学生妹| 亚洲va无码手机在线电影| 亚洲av成人无码精品网站老司机| 人妻办公室出轨上司hd院线| 日本人三级三妇少| 人妻丰满熟妇av无码区app | 国产亚洲精品久久久999蜜臀| 日韩在线不卡免费视频一区| 欧美老熟妇乱XXXXX| 无码国产69精品久久久久网站| 国产又黄又爽又色的免费| 国产精品无码久久综合网| 久久99国产精品成人| 伊人久久精品一区二区三区| H无码精品视频在线观看| 99精品热这里只有精品| 人人爽久久久噜噜噜婷婷| 婷婷狠狠色18禁久久| 国产精品亚洲av在线观看| 欧美性狂猛xxxxxbbbbb| 亚洲色欲一区二区三区在线观看| 亚洲V国产V天堂A无码二区久久|